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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

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Winterbergstraße 28
Dresden, Sachsen 01277 Deutschland

Dezember 2019

Workshop: Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen

Flyer Save the Date Inhalte: Plasmatechnologien für die Oberflächenmodifizierung und Schichtabscheidung sind industriell etabliert und die meisten Produkte der Halbleitertechnik, der Automobilindustrie, der Medizintechnik etc. sind ohne technologische Plasmaprozesse heutzutage kaum noch vorstellbar. Zur Gewährleistung der Prozesssicherheit beim Einsatz der Plasmatechnik ist aber eine spezifische Prozesskontrolle unerlässlich. Zur Verbesserung dieser Diagnostik und damit letztlich auch zur Kostenreduktion der Fertigungsprozesse ist eine ständige Weiterentwicklung der relevanten Diagnostiken erforderlich. Dieser Thematik widmet sich der Workshop "Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen".…

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