IGF-99/01: Entwicklung komplexer Schichten auf Basis CrAlN+C mittels eines PVD- Hybridprozesses, basierend auf einem simultanen Betrieb der Arc- und Sputterquellen (Aktenzeichen: 12529)

by njaekel

29.09.2000 – 30.06.2002

Projektleiter:
Prof. Dr. Erich Lugscheider
RWTH Aachen, Institut für Oberflächentechnik, Aachen