IGF-03/01: ZnO TCO: Qualifikation des Magnetronsputterns von keramischen Targets für die Herstellung von transparenten und leitfähigen Oxidschichten (Aktenzeichen: 14770 N)
by njaekel
01.05.2006 – 31.10.2008
Projektleiter:
Dr. Bernd Szyszka; Fraunhofer-IST, Braunschweig
