IGF-03/01: ZnO TCO: Qualifikation des Magnetronsputterns von keramischen Targets für die Herstellung von transparenten und leitfähigen Oxidschichten (Aktenzeichen: 14770 N)

by njaekel

01.05.2006 – 31.10.2008

Projektleiter:
Dr. Bernd Szyszka; Fraunhofer-IST, Braunschweig

Schlussbericht IGF-03/01

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