Anbieter:

• Beschichtungs- und Plasmabehandlungs-Anlagen
• Plasmatechnik-Komponenten

Anwender:

• Medizintechnik und Life Science
• Optischer Gerätebau, Photonik
• Sensorik, Mikrosystemtechnik, Smart Systems

scia Systems ist Anbieter komplexer Plasma- und Ionenstrahltechnologien für die ultra-präzise Oberflächenbearbeitung, mit Sitz in Chemnitz, Deutschland. Das Unternehmen entwickelt Anlagensysteme für die Mikroelektronikbranche und die Präzisionsoptikfertigung. Die Systeme können sowohl für Massenproduktion als auch für den Einsatz in Forschung und Entwicklung konfiguriert werden. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können mehrere Vakuumprozesskammern entsprechend der Kundenanforderungen als Cluster- oder Durchlaufsysteme kombiniert werden.

scia Systems bietet das komplette Leistungsspektrum von der Entwicklung und Konstruktion über die Fertigung und Prozessanpassung der Systeme bis hin zum anschließenden After-Sales Service. Die individuelle Kundenbetreuung wird nicht zuletzt durch das weltweite Vertriebs- und Servicenetzwerk des Unternehmens gewährleistet.

Technologie Portfolio

• Ionenstrahltrimmen (IBT)
• Ionenstrahlätzen (IBE)
• Duale Ionenstrahlabscheidung (DIBD)
• Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
• Plasma unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
• Reaktives Ionenätzen (RIE)
• Plasma Reinigung