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Oktober 2019

V2019 – Vakuum & Plasma

Oktober 8 @ 09:30 - Oktober 10 @ 16:00
Internationales Congress Center Dresden, Devrientstraße 10-12
Dresden, Sachsen 01067 Deutschland
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8. - 10. Oktober 2019, Fachtagung inkl. Industrieausstellung,
Dünne Schichten und Oberflächen für Energie, Bio & Medizin, Optik sowie Werkzeuge & Bauteile
Technologie Thema 2019: ALD

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Dezember 2019

Workshop: Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen

Downloads: Programm   Inhalte: Plasmatechnologien für die Oberflächenmodifizierung und Schichtabscheidung sind industriell etabliert und die meisten Produkte der Halbleitertechnik, der Automobilindustrie, der Medizintechnik etc. sind ohne technologische Plasmaprozesse heutzutage kaum noch vorstellbar. Zur Gewährleistung der Prozesssicherheit beim Einsatz der Plasmatechnik ist aber eine spezifische Prozesskontrolle unerlässlich. Zur Verbesserung dieser Diagnostik und damit letztlich auch zur Kostenreduktion der Fertigungsprozesse ist eine ständige Weiterentwicklung der relevanten Diagnostiken erforderlich. Dieser Thematik widmet sich der Workshop "Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen". Aus…

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