Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. • European Society of Thin Films

Vakuumbogenbeschichten

PVD-Verfahren, bei dem das Beschichtungsmaterial im kathodischen Brennfleck eines Vakuumlichtbogens von der Oberfläche eines festen "Targets" verdampft wird. Der Lichtbogen brennt in einer Vakuumkammer im von ihm selbst erzeugten Dampf und muß deshalb zunächst durch einen Hilfsprozess gezündet werden.