Oberflächen - ABC
- Auftragsschweißen
- Auftragsverfahren
- CVD
- Diffusionsbehandlung
- EUV-Lithographie
- Gasnitrieren
- Glare
- Induktionshärten
- Ionenimplantation
- Laser-/Elektronenstrahlhärten
- Laserakustik
- Laserbeschichten/-legieren
- Plasma-CVD
- Plasma-Immersions-Implantation
- Plasmabehandlung
- Plasmadekomposition
- Plasmapolymerisation
- Puls-Laserabscheidung
Sputtern
PVD-Verfahren, bei dem die Atome des
Beschichtungsmaterials durch Stoß von energiereichen Ionen eines
Plasmas aus der Targetoberfläche herausgeschlagen werden. Verstärkung
des Plasmas durch zusätzliche Magnetfelder (Magnetronsputtern).