Oberflächen - ABC
- Auftragsschweißen
- Auftragsverfahren
- CVD
- Diffusionsbehandlung
- EUV-Lithographie
- Gasnitrieren
- Glare
- Induktionshärten
- Ionenimplantation
- Laser-/Elektronenstrahlhärten
- Laserakustik
- Laserbeschichten/-legieren
- Plasma-CVD
- Plasma-Immersions-Implantation
- Plasmabehandlung
- Plasmadekomposition
- Plasmapolymerisation
- Puls-Laserabscheidung
Plasmadekomposition
Abscheidung von festen
Schichten aus einer gasförmigen Verbindung durch deren Zersetzung in
einem Plasma. Niederdruckprozess. Beispiel: Beschichtung mit
wasserstoffhaltigen, diamantähnlichen, amorphen Kohlenstoffschichten
(a-C:H) durch Plasmazersetzung von Kohlenwasserstoffen.