Oberflächen - ABC
- Auftragsschweißen
- Auftragsverfahren
- CVD
- Diffusionsbehandlung
- EUV-Lithographie
- Gasnitrieren
- Glare
- Induktionshärten
- Ionenimplantation
- Laser-/Elektronenstrahlhärten
- Laserakustik
- Laserbeschichten/-legieren
- Plasma-CVD
- Plasma-Immersions-Implantation
- Plasmabehandlung
- Plasmadekomposition
- Plasmapolymerisation
- Puls-Laserabscheidung
Plasmabehandlung
Oberflächenmodifizierung durch
Beschuss mit Ionen mit moderaten Energien (< 1 keV), die aus einem
Plasma auf das (oft mit einer negativen Vorspannung versehene) Bauteil
treffen.