Oberflächen - ABC
- Auftragsschweißen
- Auftragsverfahren
- CVD
- Diffusionsbehandlung
- EUV-Lithographie
- Gasnitrieren
- Glare
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- Ionenimplantation
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- Plasma-Immersions-Implantation
- Plasmabehandlung
- Plasmadekomposition
- Plasmapolymerisation
- Puls-Laserabscheidung
Plasma-Immersions-Implantation
Oberflächenmodifizierung durch Einschießen von energiereichen Ionen aus
einem Plasma durch Anlegen eines Hochspannungspulses (10 keV bis 100
keV) an das Bauteil. Vereinigung von Prozessen der Ionenimplantation
und des Pulsplasmanitrierens.