Oberflächen - ABC
- Auftragsschweißen
- Auftragsverfahren
- CVD
- Diffusionsbehandlung
- EUV-Lithographie
- Gasnitrieren
- Glare
- Induktionshärten
- Ionenimplantation
- Laser-/Elektronenstrahlhärten
- Laserakustik
- Laserbeschichten/-legieren
- Plasma-CVD
- Plasma-Immersions-Implantation
- Plasmabehandlung
- Plasmadekomposition
- Plasmapolymerisation
- Puls-Laserabscheidung
Plasma-CVD
(=PACVD = Plasma Assisted CVD).
CVD-Verfahren, bei dem durch eine zusätzliche Plasmaanregung des
Reaktionsgasgemisches die Reaktivität erhöht und damit die
erforderliche Oberflächentemperatur abgesenkt werden kann.