Oberflächen - ABC
- Auftragsschweißen
- Auftragsverfahren
- CVD
- Diffusionsbehandlung
- EUV-Lithographie
- Gasnitrieren
- Glare
- Induktionshärten
- Ionenimplantation
- Laser-/Elektronenstrahlhärten
- Laserakustik
- Laserbeschichten/-legieren
- Plasma-CVD
- Plasma-Immersions-Implantation
- Plasmabehandlung
- Plasmadekomposition
- Plasmapolymerisation
- Puls-Laserabscheidung
CVD
(= Chemical Vapor Deposition = Chemische
Dampfphasenabscheidung) Abscheidung von festen Schichten aus einer
gasförmigen Verbindung durch (mittels Wärme und/oder
Plasma-/Laseranregung) bewirkten Reaktion auf der Bauteiloberfläche.
Druckbereich zwischen Atmosphärendruck (AP-CVD) und Niederdruck
(LP-CVD).