IGF-03/17
IGF-03/17: Beschichtungen für reinraumtaugliche Komponenten (ZUTECH-FK Maschinenbau, FV Antriebstechnik) (Aktenzeichen: 164 ZBG)
01.11.2004 - 30.10.2006
Projektleiter:
Dr. Udo Gommel; Fraunhofer-IPA, Stuttgart
Dr. Volker Weihnacht; Fraunhofer-IWS, Dresden