IGF-03/01

IGF-03/01: ZnO TCO: Qualifikation des Magnetronsputterns von keramischen Targets für die Herstellung von transparenten und leitfähigen Oxidschichten (Aktenzeichen: 14770 N)

01.05.2006 - 31.10.2008

Projektleiter:     
Dr. Bernd Szyszka; Fraunhofer-IST, Braunschweig

Schlussbericht IGF-03/01