IGF-02/05

IGF-02/05: SAW-Leistungsbauelemente in Kupfer-Damascene-Technik (Aktenzeichen: 13996 BR)

01.02.2004 - 31.05.2006

Projektleiter:     
Dr. Siegfried Menzel; Leibniz-Institut IFW Dresden e.V. - Institut für Komplexe Materialien (IKM), Dresden           
Dr. Matthias Albert; TU Dresden - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, Dresden    

Poster IGF-02/05