IGF-03/15

IGF-03/15: Konditionierung von Wafern mittels Dielektrischer Barrierenentladung zur Herstellung von Silizium-Mehrlagenaufbauten (ZUTECH:HSG) (Aktenzeichen: 165 ZN)

01.11.2004 - 28.02.2007

Projektleiter:     
Colline Ruddy; Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-gesellschaft e.V. (HSG-IMIT), Villingen-Schwenningen
Dr. Marko Eichler; Fraunhofer-IST, Braunschweig

Schlussbericht IGF-03/15