IGF-05/07

IGF-05/07: Produktionsrelevante PECVD-Verfahren mit optimierten Precursoren zur a-C:H-Abscheidung mit hoher Rate (Aktenzeichen: 15221 BG)

01.06.2007 - 31.12.2009

Projektleiter:     
Dr. Klaus Bewilogua; Fraunhofer-IST, Braunschweig
Dr. Siegfried Peter; TU-Chemnitz, Institut für Physik, Chemnitz

Poster IGF-05/07

Zwischenbericht IGF-05/07

Schlussbericht IGF-05/07