scia Systems GmbH

 

Anbieter:

  • Beschichtungs- und Plasmabehandlungs-Anlagenbau
  • Plasmatechnik-Komponenten

Anwender:

  • Optischer Gerätebau, Photonik
  • Sensorik, Mikrosystemtechnik, Smart Systems
  • Medizintechnik und Life Science

Mitglied seit: 2013

scia Systems GmbH

Annaberger Str. 240
09125 Chemnitz (Germany)

+49 371 5347 780

+49 371 5347 781

info@scia-systems.com

www.scia-systems.com

Marcel Demmler

 

scia Systems ist Anbieter komplexer Plasma- und Ionenstrahltechnologien für die ultra-präzise Oberflächenbearbeitung, mit Sitz in Chemnitz, Deutschland. Das Unternehmen entwickelt Anlagensysteme für die Mikroelektronikbranche und die Präzisionsoptikfertigung. Die Systeme können sowohl für Massenproduktion als auch für den Einsatz in Forschung und Entwicklung konfiguriert werden. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können mehrere Vakuumprozesskammern entsprechend der Kundenanforderungen als Cluster- oder Durchlaufsysteme kombiniert werden.

scia Systems bietet das komplette Leistungsspektrum von der Entwicklung und Konstruktion über die Fertigung und Prozessanpassung der Systeme bis hin zum anschließenden After-Sales Service. Die individuelle Kundenbetreuung wird nicht zuletzt durch das weltweite Vertriebs- und Servicenetzwerk des Unternehmens gewährleistet.

Technologie Portfolio

  • Ionenstrahltrimmen (IBT)
  • Ionenstrahlätzen (IBE)
  • Duale Ionenstrahlabscheidung (DIBD)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Plasma unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Plasma Reinigung