Meyer Burger (Germany) AG

 

Anbieter:

  • Beschichtungs- und Plasmabehandlungs-Anlagenbau
  • Plasmatechnik-Komponenten

Anwender:

  • Architekturglas, Displays, Solar
  • Optischer Gerätebau, Photonik
  • Sensorik, Mikrosystemtechnik, Smart Systems
  • Medizintechnik und Life Science

Mitglied seit: 1993

Meyer Burger (Germany) AG

An der Baumschule 6-8
09337 Hohenstein-Ernstthal (Germany)

+49 3723 671 234

+49 3723 671 1000

info@microsystems.de

www.meyerburger.com

Klaus Ruhmer

 

Die Meyer Burger (Germany) AG - BU MicroSystems ist ein weltweiter Anbieter von Ionenstrahl- und Plasmaprozesssystemen. Der modulare Aufbau der Systeme ermöglicht eine flexible Anpassung an verschiedene Methoden zur Oberflächenbearbeitung, wie Reaktives Ionenätzen (RIE), plasmagestützte Schicht-Abscheidung (PECVD) oder Ionenstrahlätzen und -beschichten (IBE, IBSD). Die Anlagensysteme kommen vorwiegend in der Halbleiterindustrie, der Präzisions-Optik- und Sensoren-Fertigung sowie bei Laboranwendungen zum Einsatz. Das Unternehmen pflegt seit vielen Jahren Kundenbeziehungen mit renommierten industriellen und universitären Forschungseinrichtungen. Das Produktspektrum der MicroSystems reicht von Systemen für die Waferbearbeitung über großflächige Anwendungen bis hin zu Bandbearbeitungsanlagen, auf denen ein breites Spektrum an technologischen Prozessen realisiert werden kann. Die Anlagen unterscheiden sich dabei von Wettbewerbern in erster Linie durch die im eigenen Haus gefertigten Kernkomponenten wie Plasma- und Ionenstrahl-Quellen. Durch konsequente Modularisierung in der Gestaltung der Systeme können die verschiedenen Anlagentypen für die jeweiligen Prozessanforderungen optimiert werden.

Plasma-Technologien:

  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Plasma unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Reactives Ionenätzen (RIE)

Ionstrahl-Technologien:

  • Ionenstrahltrimmen (IBT)
  • Ionenstrahlätzen (IBE)
  • Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE)
  • Chemisch unterstützes Ionenstrahlätzen (CAIBE)
  • Ionenstrahlabscheidung (IBD)
  • Duale Ionenstrahlabscheidung (DIBD)